发明名称 TREATMENT OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09270403(A) 申请公布日期 1997.10.14
申请号 JP19960076918 申请日期 1996.03.29
申请人 FURONTETSUKU:KK 发明人 SASAKI MAKOTO;KUBOTA TAKASHI;RI KAZUMASA
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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