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发明名称 PLASMA PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09270422(A) 申请公布日期 1997.10.14
申请号 JP19960101989 申请日期 1996.03.31
申请人 FURONTETSUKU:KK 发明人 FUKUI HIROFUMI;YOSHIDA OSAMU
分类号 C23C16/44;C23C16/50;H01L21/31;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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