| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09270397(A) |
申请公布日期 |
1997.10.14 |
| 申请号 |
JP19960112915 |
申请日期 |
1996.03.29 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
HAJIME TAKAFUMI;SASHIYA TOSHIJI |
| 分类号 |
B24B9/06;B28D5/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B9/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
