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发明名称 Belichtungssystem
摘要
申请公布号 DE68928288(D1) 申请公布日期 1997.10.09
申请号 DE19896028288 申请日期 1989.05.09
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAWAKAMI, EIGO, EBINA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;YOSHII, MINORU, NAKANO-KU TOKYO, JP;UZAWA, SHUNICHI, SETAGAYA-KU TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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