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经营范围
发明名称
SHINKUSEIMAKUHOHO
摘要
申请公布号
JP2660040(B2)
申请公布日期
1997.10.08
申请号
JP19890023427
申请日期
1989.02.01
申请人
NIPPON SHINKU GIJUTSU KK
发明人
OBINATA HISAHARU
分类号
C23C14/14;C23C14/58;C23C16/06;C23C16/56;C23C26/02;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C14/58
主分类号
C23C14/14
代理机构
代理人
主权项
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