| 发明名称 |
BORON NITRIDE FILM FORMATION AND FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09263946(A) |
申请公布日期 |
1997.10.07 |
| 申请号 |
JP19960069917 |
申请日期 |
1996.03.26 |
| 申请人 |
DENKI KAGAKU KOGYO KK |
发明人 |
NONOGAKI RYOZO;YAMADA SUZUYA;WADA TETSUYA |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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