| 发明名称 |
FORMING METHOD OF PROBE FOR SCANNING TUNNELING MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09264895(A) |
申请公布日期 |
1997.10.07 |
| 申请号 |
JP19960074833 |
申请日期 |
1996.03.28 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
SUDA MASAYUKI;SAKUHARA TOSHIHIKO;ATAKA TATSUAKI |
| 分类号 |
G01B11/30;B81C99/00;C08F2/00;C08F2/52;G01N37/00;G01Q60/16;G01Q60/60;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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