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发明名称 KIBANTANENSENJOSOCHI
摘要
申请公布号 JP2659306(B2) 申请公布日期 1997.09.30
申请号 JP19910357131 申请日期 1991.12.24
申请人 DAINIPPON SUKURIIN SEIZO KK 发明人 MATSUMURA YOSHIO;KOBAYASHI RITSU;SASAKI TADASHI
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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