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经营范围
发明名称
CHEMICAL SUPPLY APPARATUS OF SEMICONDUCTOR PROCESS
摘要
申请公布号
KR0107605(Y1)
申请公布日期
1997.09.30
申请号
KR19940004833U
申请日期
1994.03.10
申请人
SANGDO ENGINEERING CO.,LTD
发明人
KIM, CHOL-WON
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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