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发明名称
HAKUMAKUTORANJISUTATOSONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号
JP2659976(B2)
申请公布日期
1997.09.30
申请号
JP19880007403
申请日期
1988.01.19
申请人
TOSHIBA KK
发明人
AKYAMA MASAHIKO
分类号
H01L27/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786
主分类号
H01L27/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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