| 发明名称 |
YAKUEKISOSEIMONITAHOHOOYOBISONOSOCHI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2658919(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.30 |
| 申请号 |
JP19940278828 |
申请日期 |
1994.11.14 |
| 申请人 |
NIPPON DENKI KK |
发明人 |
HASE USHIO;MYAZAWA ICHIRO |
| 分类号 |
G01N21/33;G01N21/75;G01N27/06;G01N31/00;H01L21/304;(IPC1-7):G01N21/75 |
主分类号 |
G01N21/33 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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