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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN SUPRALEITENDER TL-PB-SR-CA-CU OXID FILME UND EINRICHTUNGEN
摘要
申请公布号 DE69221727(D1) 申请公布日期 1997.09.25
申请号 DE1992621727 申请日期 1992.06.08
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS & CO., WILMINGTON, DEL., US 发明人 KOUNTZ, DENNIS, JAMES, WILMINGTON, DE 19803, US;PELLICONE, FRANK, MATTHEW, NORTH EAST, MD 21901, US
分类号 C01G1/00;C01G21/00;C23C14/34;C30B29/22;C30B33/02;H01L;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
主权项
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