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发明名称 PLASMA-BEHANDLUNGSEINRICHTUNG, WOBEI EIN GLEICHFÖRMIGES ELEKTRISCHES FELD DURCH EIN DIELEKTRISCHES FENSTER INDUZIERT WIRD UND DAZUGEHÖRIGES VERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69313275(D1) 申请公布日期 1997.09.25
申请号 DE19936013275 申请日期 1993.05.13
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT, CALIF., US 发明人 CHEN, CHING-HWA, MILPITAS, CA 95035, US;LIU, DAVID, SAN JOSE, CA 95129, US;TRAN, DUC, SARATOGA, CA 95070, US
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/507;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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