发明名称 Plasmabearbeitungsgerät
摘要
申请公布号 DE69405080(D1) 申请公布日期 1997.09.25
申请号 DE19946005080 申请日期 1994.12.14
申请人 NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO, JP 发明人 OTANI, SATOSHI, C/O NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO-SHI, KYOTO, JP;KIRIMURA, HIROYA, C/O NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO-SHI, KYOTO, JP;KUWAHARA, HAJIME, C/O NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO-SHI, KYOTO, JP;TABATA, TAKAO, C/O NISSIN ELECTRIC CO., LTD, KYOTO-SHI, KYOTO, JP;NAKAHIGASHI, TAKAHIRO, C/O NISSIN ELECTRIC CO.,LTD, KYOTO-SHI, KYOTO, JP;MURAKAMI, HIROSHI, C/O NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO-SHI, KYOTO, JP
分类号 C23C16/44;C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;C23C16/50 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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