薄膜致动的反射镜阵列及其制造方法

摘要

一种薄膜致动的反射镜阵列，其中的致动结构包括弹性元件，一对导管，带有条纹的第二薄膜电极，薄膜电致偏移元件，和第一薄膜电极。其制造方法包括下述步骤：制备有源原模；沉积薄膜牺牲层；在薄膜牺牲层中，产生许多对空槽阵列；沉积弹性层；沉积第二薄膜层；在第二薄膜层上产生条纹；沉积薄膜电致偏移层和第一薄膜层；摹制第一薄膜层，薄膜电致偏移层，第二薄膜层和弹性层，形成薄膜保护层；去除薄膜牺牲层和薄膜保护层。

主权项

1、一种用于光学投影系统的M×N薄膜致动的反射镜阵列，其中，M和N是整数，阵列包括：一个有源原模，这个原模包括一个带有M×N对连接端子的阵列和一个M×N晶体管阵列，其中，每一对的连接端子与晶体管阵列中的一个相应的晶体管电气相连；一个M×N致动结构阵列，每个致动结构具有一个致动部分和一个光反射部分，并包括一个弹性元件，一对导管，一个被条纹界定为两个部分的第二薄膜电极，一个薄膜电致偏移元件，和一个第一薄膜电极，第一和第二薄膜电极分别被设置在薄膜电致偏移元件的顶端和底端，弹性元件被设置在第二薄膜电极的下面，其中，第二薄膜电极中的由条纹界定的两个部分，分别与每个激励结构的致动部分和光反射部分相对应，第二薄膜电极与每个致动结构中的致动部分相对应的部分，通过导管和连接端子，与晶体管电气相连，因而在每个致动结构中起信号电极的作用，而第一薄膜电极在每个致动结构中起反射镜和偏移电极的作用。