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发明名称 SHIRYOONDOSEIGYOHOHOOYOBISHINKUSHORISOCHI
摘要
申请公布号 JP2656658(B2) 申请公布日期 1997.09.24
申请号 JP19900270405 申请日期 1990.10.11
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 ITO YOICHI
分类号 B01J3/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B01J3/00;H01L21/306 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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