发明名称 |
SCANNING PROBE MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09251026(A) |
申请公布日期 |
1997.09.22 |
申请号 |
JP19960059729 |
申请日期 |
1996.03.15 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YAMAGUCHI HIROSHI;MATSUNAGA HIDEKI;YOSHIKI MASAHIKO;SUZUKI TAKESHI;TOMITA MITSUHIRO;TAKAKUWA CHIE;TAKAHASHI MAMORU |
分类号 |
G01B5/00;G01B11/30;G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/26;G01Q70/10;G01Q90/00;G11B9/14;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B5/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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