发明名称 SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH09251026(A) 申请公布日期 1997.09.22
申请号 JP19960059729 申请日期 1996.03.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAGUCHI HIROSHI;MATSUNAGA HIDEKI;YOSHIKI MASAHIKO;SUZUKI TAKESHI;TOMITA MITSUHIRO;TAKAKUWA CHIE;TAKAHASHI MAMORU
分类号 G01B5/00;G01B11/30;G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/26;G01Q70/10;G01Q90/00;G11B9/14;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B5/00
代理机构 代理人
主权项
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