| 发明名称 |
HEAT-RESISTANT TOOL FOR SEMICONDUCTOR PRODUCING APPARATUS AND PRODUCTION OF THE TOOL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09249471(A) |
申请公布日期 |
1997.09.22 |
| 申请号 |
JP19960087696 |
申请日期 |
1996.03.14 |
| 申请人 |
SUMITOMO SITIX CORP;SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
OKAMOTO KIMITAKA;ARAHORI TADAHISA;SUTANI KIYOSHI |
| 分类号 |
B32B18/00;C04B41/85;C04B41/87;C04B41/89;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):C04B41/89 |
主分类号 |
B32B18/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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