| 发明名称 |
AIR DUCT STRUCTURE AND AIR FILTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09250802(A) |
申请公布日期 |
1997.09.22 |
| 申请号 |
JP19960086043 |
申请日期 |
1996.03.15 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
HASHIMOTO MICHINORI;KARIBE FUMIO;NISHIO HISAO |
| 分类号 |
F24F13/02;B01D46/10;B01D46/42;(IPC1-7):F24F13/02 |
主分类号 |
F24F13/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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