| 发明名称 |
SURFACE PROTECTING MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09249860(A) |
申请公布日期 |
1997.09.22 |
| 申请号 |
JP19960058112 |
申请日期 |
1996.03.14 |
| 申请人 |
NITTA IND CORP |
发明人 |
KASAZAKI TOSHIAKI;KAWAHARA SHINICHIRO;INOUE EIJI;YAMAMOTO MASAYOSHI;MATSUMOTO AKIHIKO |
| 分类号 |
C09J7/02;C09J133/06;H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):C09J7/02 |
主分类号 |
C09J7/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
