发明名称 MANUFACTURE OF CMOSFET
摘要
申请公布号 JPH09252055(A) 申请公布日期 1997.09.22
申请号 JP19960060917 申请日期 1996.03.18
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 RI TENKOU
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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