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发明名称 DRY ETCHING METHOD AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09246249(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960057402 申请日期 1996.03.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ETSUNO KEIJI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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