发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号 JPH09243313(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960080449 申请日期 1996.03.11
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 MASUZAWA TAKAHISA
分类号 G01B7/34;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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