发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09246478(A) 申请公布日期 1997.09.19
申请号 JP19960045234 申请日期 1996.03.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 ICHINOSE KATSUHIKO
分类号 H01L27/08;(IPC1-7):H01L27/08 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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