发明名称 |
MAIKUROPUROOBUNYORUBISHOBUHIN*BISHOKOZOBUTSUNOSAKUSEIHOHO |
摘要 |
|
申请公布号 |
JP2653424(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.17 |
申请号 |
JP19950246161 |
申请日期 |
1995.09.25 |
申请人 |
KAGAKU GIJUTSUCHO KINZOKU ZAIRYO GIJUTSU KENKYU SHOCHO |
发明人 |
KONNO TAKESHI;EGASHIRA MITSURU;SHINTANI NORIO |
分类号 |
B23K9/013;B23K9/00;C23C14/14;C23C14/34;G11B9/00;G11B9/14;H01L21/203;(IPC1-7):B23K9/00 |
主分类号 |
B23K9/013 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|