| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09246409(A) |
申请公布日期 |
1997.09.19 |
| 申请号 |
JP19960056612 |
申请日期 |
1996.03.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TANIMOTO MASAO;MORI SEIICHI |
| 分类号 |
H01L21/336;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L21/336 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
