发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2654056(B2) 申请公布日期 1997.09.17
申请号 JP19880043467 申请日期 1988.02.26
申请人 TOSHIBA KK 发明人 SAWADA SHIZUO
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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