| 发明名称 |
VACUUM GATE VALVE AND FILM FORMING DEVICE WHICH USES THE VALVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09242930(A) |
申请公布日期 |
1997.09.16 |
| 申请号 |
JP19960078243 |
申请日期 |
1996.03.06 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
ANDO KENJI;SUZUKI YASUYUKI;HIROO RIYUUJI |
| 分类号 |
F16K1/00;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/56;F16K51/00;F16K51/02;(IPC1-7):F16K51/02 |
主分类号 |
F16K1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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