| 发明名称 |
SEISANSHINKOSEIGYOSOCHIOYOBIHANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2651245(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.10 |
| 申请号 |
JP19890167090 |
申请日期 |
1989.06.30 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
IWASAKI TAKEMASA;SHIMOSHA SADAO;OOTANI HARUO;MAEDA KAZUHIKO;SAKAMOTO JUZABURO;SATO KATSUNORI;KYOKUNI YOSHIHIKO;SUZUKI HIROTAKA;OOYAMA JUICHI;IIZAKA SUSUMU;KOBAYASHI ATSU;FUJITA MAKOTO |
| 分类号 |
B23Q41/08;B23Q41/00;G05B19/418;H01L21/02;(IPC1-7):B23Q41/00 |
主分类号 |
B23Q41/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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