| 发明名称 |
JUSHIFUSHIHANDOTAIOYOBISONOSEIZOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2651868(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.10 |
| 申请号 |
JP19890108726 |
申请日期 |
1989.04.27 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
OZAKI TOSHINORI;ANJO ICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/56;H01L23/29;H01L23/31;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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