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经营范围
发明名称
KETSUSHOSEICHOHOHO
摘要
申请公布号
JP2652630(B2)
申请公布日期
1997.09.10
申请号
JP19860076284
申请日期
1986.04.02
申请人
RIKAGAKU KENKYUSHO
发明人
DOI KONEN;AOYANAGI KATSUNOBU;NANBA SUSUMU
分类号
H01L21/205;C23C16/48;H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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