| 发明名称 |
METAL COMPLEX AND FORMATION OF METAL THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09235287(A) |
申请公布日期 |
1997.09.09 |
| 申请号 |
JP19960044764 |
申请日期 |
1996.03.01 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
SAI ATSUSHI;SATO MASAMITSU;OGI KATSUMI |
| 分类号 |
C07F1/08;C07F1/10;C07F15/00;C07F15/06;C07F17/00;C07F17/02;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C07F1/08 |
主分类号 |
C07F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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