发明名称 SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH09236609(A) 申请公布日期 1997.09.09
申请号 JP19960042927 申请日期 1996.02.29
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KAMIYAMA TSUTOMU;HAYASHI YOSHIAKI
分类号 G01B21/30;G01N1/06;G01N1/36;G01N37/00;G01Q30/08;G01Q30/20;G01Q60/24;G01Q80/00;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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