发明名称 ELECTROSTATIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH09238484(A) 申请公布日期 1997.09.09
申请号 JP19960069408 申请日期 1996.02.29
申请人 MITSUBISHI CHEM CORP;DIAFOIL CO LTD 发明人 FUKUYAMA HISASHI;OZAKI YOSHIHIDE;KONNO SHINJI
分类号 H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 H02N1/00
代理机构 代理人
主权项
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