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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09237894(A) 申请公布日期 1997.09.09
申请号 JP19960042342 申请日期 1996.02.29
申请人 NKK CORP 发明人 TAKEUCHI NOBUYOSHI
分类号 H01L21/316;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/762;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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