| 发明名称 |
DEVICE FOR EXPOSING DISCOID SUBSTRATE TO LASER BEAM AND METHOD FOR CONCENTRICALLY RETAINING THIS SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09237444(A) |
申请公布日期 |
1997.09.09 |
| 申请号 |
JP19960317953 |
申请日期 |
1996.11.28 |
| 申请人 |
BARUTSUAASU & LEYBOLD DOICHIYURANTO HOLDING AG |
发明人 |
BERUNTO HENZERU;FURIIDORITSUHI HOOFUMAN;HERUMAN KOOPU;EEBERUHARUTO FUAIKU;FURANTSU RIHITAA |
| 分类号 |
G11B17/022;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 |
主分类号 |
G11B17/022 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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