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发明名称 INSPECTION SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH09229979(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960036985 申请日期 1996.02.23
申请人 SHARP CORP 发明人 AZUMA TAKASHI;YAMADA KOICHI
分类号 G01R31/00;(IPC1-7):G01R31/00 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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