发明名称 SUBSTRATE DRIER
摘要
申请公布号 JPH09232277(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960033758 申请日期 1996.02.21
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 IZUMI AKIRA
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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