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发明名称 COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH09232206(A) 申请公布日期 1997.09.05
申请号 JP19960034465 申请日期 1996.02.22
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 KUROKAWA HIROMOTO;OKAMOTO SHINJI;NATORI TAKEZUMI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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