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发明名称 Transportvorrichtung
摘要
申请公布号 DE19514037(C2) 申请公布日期 1997.09.04
申请号 DE1995114037 申请日期 1995.04.13
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 HANAU, DE 发明人 ZEJDA, JAROSLAV, 63517 RODENBACH, DE
分类号 B65G47/80;B65G29/00;B65G49/07;G11B7/26;G11B23/00;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07;H01J37/32 主分类号 B65G47/80
代理机构 代理人
主权项
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