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发明名称 SHIRIKONUEEHANOHYOMENSHORIHOHO
摘要
申请公布号 JP2648556(B2) 申请公布日期 1997.09.03
申请号 JP19930145956 申请日期 1993.06.17
申请人 SUMITOMO SHICHITSUKUSU KK 发明人 WATANABE TOORU
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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