| 发明名称 |
BISHOJURYOKUKADENOJUKAI*GYOKOHOHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2648728(B2) |
申请公布日期 |
1997.09.03 |
| 申请号 |
JP19900079017 |
申请日期 |
1990.03.29 |
| 申请人 |
UCHU KANKYO RYO KENKYUSHO KK |
发明人 |
FUJII TAKASHI;NAKADA JUJI;WATANABE MINORU |
| 分类号 |
C22C1/02;F27B14/10;H01L21/208;H01L21/368;(IPC1-7):C22C1/02 |
主分类号 |
C22C1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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