发明名称 JOATSUCVDSOCHI
摘要
申请公布号 JP2648096(B2) 申请公布日期 1997.08.27
申请号 JP19940170614 申请日期 1994.07.22
申请人 YAMAGATA NIPPON DENKI KK 发明人 SATO AKIRA
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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