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发明名称 CHANGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09222738(A) 申请公布日期 1997.08.26
申请号 JP19960029215 申请日期 1996.02.16
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KATO JUNICHI;SAITO KENICHI;MORITA HIROBUMI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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