| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND OPERATION METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09223600(A) |
申请公布日期 |
1997.08.26 |
| 申请号 |
JP19960322484 |
申请日期 |
1996.12.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HIRAMOTO KAZUO;TADOKORO MASAHIRO;NORIMINE TETSUROU |
| 分类号 |
G21K5/04;A61N5/10;H05H13/04;(IPC1-7):H05H13/04 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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