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发明名称 HENIRYOKENSHUTSUSOCHI
摘要
申请公布号 JP2644757(B2) 申请公布日期 1997.08.25
申请号 JP19870180705 申请日期 1987.07.20
申请人 SANKYO SEIKI SEISAKUSHO KK 发明人 YONEDA TATSUMI
分类号 G01B7/16;G01B7/24;G01R17/12;G01R33/06;G01R33/09;H01L43/08;(IPC1-7):H01L43/08 主分类号 G01B7/16
代理机构 代理人
主权项
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