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发明名称
REIAUTONOKONPAKUSHONHOHO
摘要
申请公布号
JP2645592(B2)
申请公布日期
1997.08.25
申请号
JP19890140771
申请日期
1989.06.02
申请人
NIPPON DENSHIN DENWA KK
发明人
ONOZAWA AKIRA
分类号
H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):G06F17/50
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
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