发明名称 HANDOTAISOCHIOYOBISONOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JP2644776(B2) 申请公布日期 1997.08.25
申请号 JP19870275819 申请日期 1987.11.02
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 KAWAMOTO YOSHIFUMI
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L27/02;H01L27/10;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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