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经营范围
发明名称
Verfahren zum Trocknen von Silizium
摘要
申请公布号
DE19531031(C2)
申请公布日期
1997.08.21
申请号
DE19951031031
申请日期
1995.08.23
申请人
ICTOP ENTWICKLUNGSGESELLSCHAFT MBH, 95490 MISTELGAU, DE
发明人
SCHNELLENBERGER, WILHELM, 95437 CREUSEN, DE;HERRMANNSDOERFER, DIETER, 95489 MISTELGAU, DE
分类号
H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):C01B33/02;C01B33/037
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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