发明名称 Verfahren zum Trocknen von Silizium
摘要
申请公布号 DE19531031(C2) 申请公布日期 1997.08.21
申请号 DE19951031031 申请日期 1995.08.23
申请人 ICTOP ENTWICKLUNGSGESELLSCHAFT MBH, 95490 MISTELGAU, DE 发明人 SCHNELLENBERGER, WILHELM, 95437 CREUSEN, DE;HERRMANNSDOERFER, DIETER, 95489 MISTELGAU, DE
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):C01B33/02;C01B33/037 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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