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发明名称 KAGOBUTSUHANDOTAIHAKUMAKUNOKEISEIHOHO
摘要
申请公布号 JP2642096(B2) 申请公布日期 1997.08.20
申请号 JP19860140920 申请日期 1986.06.17
申请人 NIPPON DENSHIN DENWA KK 发明人 SUGIURA HIDEO
分类号 H01L21/205;C30B25/02;C30B29/40;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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